超音波モータ
7nm プロセス時代の超音波モータSEモータ
ナノモーション社の最新の超音波モータです。
7nm プロセスでの運用を視野に入れHRモータよりも速度は2倍、駆動力は同等、消費電力は半分になります。
7nm プロセス時代の超音波モータSEモータ
ナノモーション社の最新の超音波モータです。
7nm プロセスでの運用を視野に入れHRモータよりも速度は2倍、駆動力は同等、消費電力は半分になります。
SEモータは高剛性、高速駆動、サブナノメートルのモーション分解能を実現するため、より効率的な駆動コアを組み込んだ、拡張モータ構造に基づき設計されました。ナノモション社の既存HRモータと比較してSEモータは、2倍の速度と同じ駆動力を提供し、消費電力は半分になります。
【主な特徴】
１）高真空アプリケーション
２）サブナノメートルの位置決め精度
３）優れたエネルギー変換効率
４）幅広い動的な速度範囲
５）ゼロバックラッシュと高い剛性
６）電力なしでの静止保持力
７）静かな動作音
８）EMI（電磁妨害）が無視できる
| モデル | SE8-1-V-3 |
|---|---|
| 最大許容速度 | 500mm/sec |
| 動的失速力 | 32N |
| 静的保持力の基準値 | 32N |
| 非励振時の剛性 | 10 N/μm |
| ステージへの公称予圧 | 120 N |
| MTBF（時間） | 30,000 |
| 最大電圧（44.4 KHz, 正弦波の場合） | 280 Vrms |
|---|---|
| 最大電圧時のモータ電流 | 600ｍA |
| 最大消費電力 | 40W |
| 周囲温度 | 0～50℃ |
|---|---|
| 保管時温度 | -10～50℃ |
| 湿度 | 0 - 80% 結露しないこと |
| 真空対応オプション | 高真空（10-7 Torrまで）/ UHV（10-10 Torrまで）が利用可能 |
| 真空モータの最大ベーキング温度 | 標準モータの場合110℃ |
上記動画はSEモータでステージを駆動させたデモ動画です。
低速な微動（サブナノメートルの位置決め精度）と500mm/s（無負荷時）の高速移動が可能です。
発熱が少なく半導体製造装置等の高真空環境下でもご利用いただけます。
ナノモーション社ではSEモータ駆動のため専用のAB7ドライバを用意しています。
詳細は左の製品紹介ページをご参照ください。
技術情報
製品紹介ページ